冠亚恒温气体冷却机Chiller提供均匀的温度场，实现-55℃至200℃的宽温域准确控制，支持复杂真空环境下的准确控温，将晶圆温度梯度控制在±0.05℃，通过换热器实现±0.5℃空间温差控制，让每一层薄膜都贴合。
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