单轴机器人在芯片测试设备中应用较多，尤其是探针台分选机，可带动测试探头精确的接触芯片引脚，进行电气性能测试，其定位精度可达到±0.01毫米。单轴机器人也常用于晶圆面板的精密定位，检测设备的运动平台精密点胶，小型组装等环节。
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